国家/地区 美国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B029/02(4) C01B032/186(3) C23C016/02(3)
C23C016/26(3) C30B025/18(3) C30B029/38(3)
C30B029/40(3) C30B029/60(3) H01L021/02(3)
B01J003/06(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C23C016/04(2) C23C016/34(2) C30B001/02(2)
发明人 FIMLAND B M(2) MUNSHI M(2) WEMAN H(2)
公开年 2021(11) 2020(2)
申请年 2020(13)
专利权人 CRAYONANO AS(2)