国家/地区 美国(7) 日本(6) 中国(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17) C23(17) C30(7)
H01(5) B82(4)
IPC小类 C01B(17)
IPC C23C014/14(17)
发明人 KIM J(2)
公开年 2017(3) 2011(2) 2013(2) 2014(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2012(3)  2013(3)  2016(3)  2020(2)  2021(2) 
专利权人