国家/地区 | 美国(7) 日本(6) 中国(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(17)![]() |
IPC大类 |
C01(17)
C23(17)
C30(7)
H01(5) B82(4) |
IPC小类 |
C01B(17)![]() |
IPC |
C23C014/14(17)![]() |
发明人 | KIM J(2) |
公开年 | 2017(3) 2011(2) 2013(2) 2014(2) 2021(2) 2022(2) |
申请年 | 2012(3) 2013(3) 2016(3) 2020(2) 2021(2) |
专利权人 |
NARUTSUKA S, NAKAJIMA R
IONI YU V, SUSLIN S G
LIN Y, LEE S, JHONG Y, ZHAMU A, JANG B Z
KIM D, HYEON T, PARK M, SON D, SONG J
YAGER T A, ROBINSON J