国家/地区 | 中国(6) 美国(6) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C01(11)![]() |
IPC小类 |
C01B(11)![]() |
IPC |
C23C016/52(11)![]() |
发明人 | NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2) |
公开年 |
2021(11)![]() |
申请年 | 2020(6) 2021(4) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(3) NINGBO INST .(2) |
ZHANG L, YE Q, WANG X, SHEN L
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I