国家/地区 中国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13) H01(6) G01(2)
G02(2)
IPC小类 C23C(13)
IPC C23C014/08(13)
发明人 CHEN Y(2)
公开年 2021(13)
申请年 2021(10)  2020(3) 
专利权人