国家/地区 中国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 B01(9) C23(9) C01(8)
B82(4) C08(2) C09(2)
C25(2) H01(2)
IPC小类 B01J(9)
IPC C23C016/44(9)
发明人
公开年 2014(2) 2017(2) 2018(2) 2021(2)
申请年 2014(2)  2017(2) 
专利权人