国家/地区 德国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) B82Y(5) C01B(5)
H01L(5) B82B(2)
IPC C23C016/56(7)
发明人 THOMAS S(2)
公开年 2021(3) 2017(2)
申请年 2016(2)  2021(2) 
专利权人