国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C01B031/04(6)
B82Y030/00(5)
B82Y040/00(5)
C23C016/26(5) C01B031/02(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3) C01B032/184(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2) C23C028/00(2) C30B025/18(2) C30B029/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(7)![]() |
申请年 | 2013(4) 2011(2) |
专利权人 | CENT NAT REC.(2) CNRS CENT NA.(2) |
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T