国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/04(6) B82Y030/00(5) B82Y040/00(5)
C23C016/26(5) C01B031/02(3) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) C01B032/184(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2) C23C028/00(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2)
发明人
公开年 2013(7)
申请年 2013(4)  2011(2) 
专利权人 CENT NAT REC.(2) CNRS CENT NA.(2)