国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C30(7) B82(4) C01(4)
C23(3) H01(3)
IPC小类 C30B(7)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C30B029/02(4)
C01B032/184(3) C30B025/18(3) H01L029/16(3)
C30B001/02(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2018(7)
申请年 2017(5) 
专利权人

URBAN J J, RUMINSKI A M, CHO E S, BARDHAN R, BRAND A, WOOD B C, HEO T W, SHEA P T, KANG S Y, ZHOU X