国家/地区 |
美国(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C30(7)
B82(4)
C01(4)
C23(3) H01(3) |
IPC小类 |
C30B(7)![]() |
IPC |
B82Y030/00(4)
B82Y040/00(4)
C30B029/02(4)
C01B032/184(3) C30B025/18(3) H01L029/16(3) C30B001/02(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2018(7)![]() |
申请年 | 2017(5) |
专利权人 |
ZURUTUZA ELORZA A, CENTENO PEREZ A, PESQUERA RODRIGUES A, ZURUTUZA E A, CENTENO P A, PESQUERA R A
SUI S, WANG Y, DIMITRAKOPOULOS C, PERRY S L
URBAN J J, RUMINSKI A M, CHO E S, BARDHAN R, BRAND A, WOOD B C, HEO T W, SHEA P T, KANG S Y, ZHOU X
LIST F A, STEHLE Y Y, VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N
ZHAMU A, XIONG W, JANG B Z
LAI C, TAN C, SINGH P, LAI C S