国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) G01(7) B82(2)
C01(2)
IPC小类 C23C(8) G01N(4) B82Y(2)
C01B(2) G01L(2)
IPC C23C016/56(8)
发明人 ZHANG H(2)
公开年 2022(3) 2020(2)
申请年 2020(2)  2022(2) 
专利权人