| 国家/地区 | 中国(17) 美国(3) 台湾(2) |
| IPC部 |
C(18)
|
| IPC大类 |
C23(18)
|
| IPC小类 |
C23C(18)
G01N(7)
G02B(3)
G02F(3) G03F(3) B05D(2) B82Y(2) C03C(2) G01L(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C028/00(18)
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| 发明人 |
ZHANG J(4)
CHEN C(2)
CHEN Y(2)
TU C(2) WANG X(2) ZHANG Q(2) |
| 公开年 | 2022(6) 2020(5) 2018(3) |
| 申请年 | 2020(6) 2022(6) 2016(2) |
| 专利权人 | TAIWAN SEMIC.(2) |
XIONG Y, DING Z, XU H, WU C, XU F
LI J, ZHANG X, SHI G, WANG B, ZHANG J
CHEN L, LIU G, ZHENG C, XIAO L, LUO Y, CHEN Y
WU X, RUI L, ZHANG Q, LU J, LI Y
WANG X, WANG L, CHEN Z, YANG Y, ZHANG J, SU C, FENG H, LI P, WU W, LUO T, ZHOU C
CARTAMIL BUENO S J, CARTAMIL B S J
ZHANG J, YUAN G, LI Z, WANG J, ZHOU Y
WANG S, ZHANG Q, HU Z, CAI M, DU L, ZHANG H, CHEN Y, ZHOU Z
