国家/地区 中国(17) 美国(3) 台湾(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18) G01N(7) G02B(3)
G02F(3) G03F(3) B05D(2)
B82Y(2) C03C(2) G01L(2)
H01L(2)
IPC C23C028/00(18)
发明人 ZHANG J(4) CHEN C(2) CHEN Y(2)
TU C(2) WANG X(2) ZHANG Q(2)
公开年 2022(6) 2020(5) 2018(3)
申请年 2020(6)  2022(6)  2016(2) 
专利权人 TAIWAN SEMIC.(2)