| 国家/地区 | 中国(5) 美国(4) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(13)
|
| IPC大类 |
C01(13)
G01(10)
C23(5)
H01(5) B01(2) B82(2) G02(2) G03(2) G06(2) |
| IPC小类 |
C01B(13)
H01L(5)
C23C(4)
G01N(3) B01J(2) B82Y(2) G03F(2) |
| IPC |
C01B032/186(13)
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| 发明人 |
KIM J(2)
LEE S Y(2)
SHEN X(2)
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| 公开年 |
2022(13)
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| 申请年 | 2021(7) 2022(6) |
| 专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S
DIXON S, GUINEY I, THOMAS S, GRIFFIN R M, BADCOCK T J
ZHAO D, HOU X, ZHANG Y, ZHENG X, QIANG H, QI M, CHEN M, YE X
LEE K B, NAM Y, LEE S Y, LEE Y, KIM J, OH I H
KIM J, WIMALANANDA M D S, LEE J M
