国家/地区 美国(13) 世界知识产权组织(9) 中国(8) 日本(6) 韩国(5) 台湾(5) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C03(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(13) C03C(12)
H01L(9) B82Y(8) B32B(4)
B44C(4) H01B(4) B82B(3)
C23F(3) C25F(3) C03B(2)
C04B(2) C30B(2) H01G(2)
IPC C23C016/26(14)
发明人 LIU X(3) SONG Z(3) FAN F Y(2)
FAN S(2) JIANG K(2) LIN X(2)
MANLEY R G(2) MORENA R M(2) XIAO L(2)
YAGER T A(2)
公开年 2012(4) 2011(3) 2017(3)
申请年 2010(3)  2011(3)  2009(2)  2016(2) 
专利权人 CORNING INC(3) EMPIRE TECHN.(2) HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2)
ISLAND GIANT.(2) UNIV TSINGHU.(2)