国家/地区 美国(10) 欧洲专利局(EPO)(7) 世界知识产权组织(7) 日本(6) 韩国(6) 中国(5) 台湾(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C01B(16)
IPC C23C016/26(9) C01B032/182(8) C01B032/186(7)
B82Y030/00(5) H01B005/14(5) B82Y040/00(4)
C01B032/184(4) C01B032/194(4) C23C016/02(4)
C23C016/455(4) C01B031/04(3) C23C016/46(3)
H01B001/04(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
发明人 HAN S H(2) KIM H K(2) KIM Y K(2)
LEE S J(2) SEO J W(2)
公开年 2017(7) 2018(7) 2019(2)
申请年 2017(16)
专利权人 KOREA ELECTR.(2) NAT INST ADV.(2)