| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(9)
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| IPC部 |
C(9)
B(7)
H(5)
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| IPC大类 |
C01(9)
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| IPC小类 |
C01B(9)
C23C(9)
B82Y(4)
C30B(4) C25D(3) H01L(3) B05D(2) B32B(2) |
| IPC |
C23C028/00(9)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(3) 2011(2) |
| 申请年 | 2011(3) 2013(2) |
| 专利权人 |
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J
