国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C01(21)
IPC小类 C23C(21) C01B(20) B82Y(3)
C30B(2) H01G(2) H01L(2)
IPC C23C014/58(21)
发明人 CHIU S(2) CHIU S M(2) CHUNG C(2)
CHUNG C J(2) HUANG C(2) HUANG C H(2)
HUANG J(2) LI L(2) QIU S(2)
WU B(2) WU B H(2) ZHENG X(2)
ZHONG C(2)
公开年 2021(5) 2014(3) 2018(3) 2023(3)
申请年 2021(4)  2013(3)  2016(3)  2022(3)  2012(2)  2020(2) 
专利权人 FOUND METAL .(2) METAL IND RE.(2) NAT CENT NAN.(2) NINGBO INST .(2)