国家/地区 美国(10) 韩国(6) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2)
IPC部 C(12) B(5) H(5)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C01B(7) H01L(5)
B82Y(3) C30B(2)
IPC C23C016/04(12)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(9) 2022(3)
申请年 2020(12)
专利权人 QUANTUM ELEM.(3)