国家/地区 中国(20) 美国(9) 世界知识产权组织(6) 韩国(5) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2)
IPC部 C(35)
IPC大类 C23(35)
IPC小类 C23C(35) G01N(16) B82Y(5)
G02B(5) C01B(4) C03C(4)
G02F(3) G03F(3) H01L(3)
B22F(2) C09D(2) C25D(2)
C30B(2) G01J(2) G06F(2)
IPC C23C016/26(20) C23C014/35(7) C23C014/18(6)
C23C016/02(6) C23C028/00(6) G01N021/65(6)
B82Y040/00(5) B82Y030/00(4) C23C016/455(4)
C23C016/56(4) C23C014/14(3) C23C014/16(3)
C23C014/30(3) C23C028/04(3) G01N027/30(3)
发明人 XIA Y(4) ZHANG J(4) LIN J(3)
LIU X(3) SHAO S(3) ZHANG X(3)
CAI H(2) JAI L H(2) LU G(2)
SHI G(2) SHIM W P(2) SUI X(2)
WANG F(2) WANG S(2) WU K(2)
公开年 2020(17) 2021(12) 2022(6)
申请年 2020(35)
专利权人 UNIV NANJING.(3) HEWLETTPACKA.(2) HUNAN ERLING.(2) QINGDAO FENG.(2)
TES CO LTD(2) UNIV CALIFOR.(2) UNIV CHANGCH.(2)