国家/地区 美国(10) 韩国(7) 世界知识产权组织(6) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2)
IPC部 B(14)
IPC大类 B01(14)
IPC小类 B01J(14) C23C(14) C01B(13)
B82Y(9) H01L(5) H01J(4)
C08K(2) H01B(2) H05H(2)
IPC B01J019/12(14)
发明人 LEE S(2)
公开年 2012(4) 2013(3) 2014(2)
申请年 2012(4)  2011(3)  2013(2)  2022(2) 
专利权人 CALIFORNIA I.(2)

YOO H, KIM J, JUNG Y, YOO H J, KIM J K, JUNG Y G, KIM J S, LIU H