国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8) C23C(8) H01L(6)
B82Y(4) B32B(2) C04B(2)
C30B(2) H01B(2) H05K(2)
IPC C01B021/064(8)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)