国家/地区 中国(57)
IPC部 C(57)
IPC大类 C23(57)
IPC小类 C23C(57) C01B(21) H01L(7)
B82Y(6) B01J(3) B32B(3)
C30B(3) H01B(3) B82B(2)
C04B(2) F22B(2) F28F(2)
IPC C23C016/26(57)
发明人 SHI H(10) ZHANG Y(8) HUANG D(7)
JIANG H(7) LI Z(7) ZHU P(7)
GAO X(6) ZHANG X(5) CHEN Z(4)
DU C(4) ZHANG P(4) LIU L(3)
LIU Z(3) SHAO L(3) WANG J(3)
公开年 2015(30) 2014(22) 2016(5)
申请年 2014(57)
专利权人 CHINESE ACAD.(10) CHONGQING MO.(8) CHONGQING GR.(3) SHANGHAI INS.(3)
SUZHOU HONGJ.(3) AIXTRON SE(2) CHINESE ACAD.(2) HARBIN INST .(2)
INST MICROEL.(2) SHI Y(2) UNIV NORTH C.(2) UNIV TSINGHU.(2)