国家/地区 中国(5) 美国(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) H01L(5) B82Y(3)
C01B(2) H01G(2)
IPC C23C016/34(8)
发明人 ELSAYED K A M(2) MAAROUF A A(2) YANG H(2)
公开年 2023(8)
申请年 2022(6) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(2)