国家/地区 美国(19) 韩国(17) 世界知识产权组织(14) 中国(13) 欧洲专利局(EPO)(8) 日本(8) 加拿大(3) 澳大利亚(2) 巴西(2) 墨西哥(2) 新加坡(2)
IPC部 B(31)
IPC大类 C01(31)
IPC小类 C01B(31)
IPC C23C016/26(22) C01B031/04(18) B82Y030/00(9)
B82Y040/00(8) C01B032/186(7) C01B032/182(6)
C01B032/194(6) C23C016/01(6) C23C016/56(6)
H01L021/02(6) C01B031/02(5) B05D001/00(4)
B32B009/00(4) C23C016/02(4) H01L029/16(4)
发明人 LEE Y T(5) BEDWORTH P V(3) SINTON S W(3)
HEISE S E(2) KIM Y K(2) LIPOMI D J(2)
LIU X(2) SWETT J L(2) YONG K K(2)
ZARETSKI A(2)
公开年 2017(16) 2016(13) 2018(2)
申请年 2016(31)
专利权人 LEE Y T(5) LOCKHEED MAR.(3) CHARMTRON CO.(2) UNIV CALIFOR.(2)