国家/地区 韩国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/06(9)
发明人 SHIN H(2)
公开年 2013(3) 2014(3)
申请年 2012(4) 
专利权人 UNIV SUNGKYU.(3) KOREA ADVANC.(2) SAMSUNG ELEC.(2)