国家/地区 中国(11) 美国(11) 世界知识产权组织(9) 韩国(6) 日本(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 英国(2) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) C01B(8) B82Y(5)
H01L(5) C30B(3) B01J(2)
IPC C23C016/02(15)
发明人
公开年 2013(9) 2014(4) 2015(2)
申请年 2013(15)
专利权人