国家/地区 世界知识产权组织(20)
IPC部 C(20)
IPC大类 C23(20)
IPC小类 C23C(19) C01B(12) H01L(5)
B82Y(3) H01M(3) B05D(2)
B32B(2) C08K(2) G01N(2)
H05H(2)
IPC C23C016/26(13) C01B032/186(8) C01B032/182(4)
H01L021/205(3) H01M004/04(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/194(2) C01B032/198(2)
C08K003/04(2) C23C016/455(2) C23C016/54(2)
C23C026/00(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 IFUKU R(3) MATSUMOTO T(3) RYOTA I(3)
TAKASHI M(3)
公开年 2020(9) 2021(6) 2019(5)
申请年 2019(20)
专利权人 TOKYO ELECTR.(3)