国家/地区 中国(11) 韩国(6) 美国(6) 世界知识产权组织(6) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C23(17)
IPC小类 C23C(17) C01B(8) B82Y(3)
H01L(3) B01D(2) H01G(2)
IPC C23C016/44(17)
发明人 ZHOU M(2)
公开年 2013(17)
申请年 2012(9)  2013(8) 
专利权人