国家/地区 中国(6) 美国(6) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/52(11)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(11)
申请年 2020(6)  2021(4) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(3) NINGBO INST .(2)