国家/地区 世界知识产权组织(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/26(10) C01B032/186(8) C01B032/182(4)
H01L021/205(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/194(2) C01B032/198(2) C08K003/04(2)
C23C016/54(2) H05H001/46(2)
发明人 IFUKU R(3) MATSUMOTO T(3) RYOTA I(3)
TAKASHI M(3)
公开年 2020(7) 2019(4)
申请年 2019(12)
专利权人 TOKYO ELECTR.(3)