国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C30B(11)
IPC C23C016/26(5) C30B029/02(5) C30B025/18(4)
H01L021/02(4) C23C014/35(3) C23C016/02(3)
C30B025/00(3) C30B029/40(3) C23C014/06(2)
C23C014/16(2) C23C016/01(2) C23C016/56(2)
C30B028/14(2) C30B029/04(2) C30B033/12(2)
发明人 WANG B(2)
公开年 2022(9) 2023(2)
申请年 2022(11)
专利权人