国家/地区 日本(29)
IPC部 C(29)
IPC大类 C23(29)
IPC小类 C23C(29) C01B(26) C30B(6)
H01L(6) B82Y(5) B32B(4)
H01M(4) G01N(3) B01J(2)
C03C(2) C25D(2) H01B(2)
H01G(2)
IPC C23C016/26(19) C01B032/182(16) C01B032/194(13)
C01B032/15(10) C01B032/18(10) C01B032/186(9)
C23C016/01(7) C01B031/04(5) C30B029/02(5)
B32B009/00(4) B82Y030/00(4) B82Y040/00(4)
C23C016/56(4) C01B031/02(3) C01B032/184(3)
发明人 AIDA H(5) AOTA N(5) BEDWORTH P V(2)
HEISE S E(2) JANG B Z(2) LIU X(2)
MATSUMOTO T(2) SINTON S W(2) SWETT J L(2)
ZHAMU A(2)
公开年 2017(29)
申请年 2016(19)  2015(5)  2017(5) 
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5) JANG B Z(2) LOCKHEED MAR.(2) NANOTEK INST.(2)
NAT INST ADV.(2) SHANGHAI INS.(2) TOKYO ELECTR.(2) ZHAMU A(2)