国家/地区 中国(14)
IPC部 C(14) B(5) G(2)
H(2)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C014/16(14)
发明人 CHEN J(2) LI X(2) LIU P(2)
YU Y(2)
公开年 2022(4) 2021(3) 2017(2) 2018(2)
申请年 2022(4)  2016(2)  2017(2)  2021(2) 
专利权人 NAT CENT NAN.(2)