国家/地区 美国(11)
IPC部 B(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C014/34(11)
发明人 KIM H(2)
公开年 2016(4) 2011(2)
申请年 2016(3)  2010(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)