国家/地区 | 美国(6) 韩国(4) 澳大利亚(3) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) 日本(2) |
IPC部 |
B(9)![]() |
IPC大类 |
C01(9)![]() |
IPC小类 |
C01B(9)![]() |
IPC |
C23C016/02(9)![]() |
发明人 | NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) |
公开年 |
2021(9)![]() |
申请年 | 2020(7) 2021(2) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) |
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
BURGGRAF J, JUERGEN B
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L