国家/地区 美国(6) 韩国(4) 澳大利亚(3) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) 日本(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/02(9)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(9)
申请年 2020(7)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)