国家/地区 中国(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/26(9) B82Y030/00(7) C01B032/194(7)
B82Y040/00(6) C01B032/186(6) C23C016/56(5)
C01B032/182(4) B32B009/00(3) B32B038/10(3)
C01B032/184(3) C23C016/01(3) H01L029/16(3)
B32B009/04(2) B32B037/00(2) C01B031/02(2)
发明人 LIU X(2)
公开年 2017(13)
申请年 2016(9)  2017(4) 
专利权人