国家/地区 中国(10) 美国(9) 世界知识产权组织(7) 韩国(6) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2)
IPC部 C(25)
IPC大类 C01(25)
IPC小类 C01B(25)
IPC C23C016/26(17) C01B032/186(15) C01B032/182(4)
C01B032/194(4) C23C016/44(4) H01L021/205(4)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C23C016/02(3)
H01L021/02(3) B22F001/02(2) C01B032/198(2)
C23C014/06(2) C23C014/18(2) C23C016/50(2)
发明人 AHN S J(2) AN S(2) BYUN K(2)
BYUN K E(2) IFUKU R(2) KIM C(2)
LEE C(2) LEE C S(2) MATSUMOTO T(2)
RYOTA I(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
SHIN K(2) SHIN K W(2) TAKASHI M(2)
公开年 2020(25)
申请年 2019(25)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2)