国家/地区 中国(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/26(8) B82Y030/00(5) C01B032/186(5)
C01B032/194(5) B82Y040/00(4) C01B031/04(4)
C23C016/56(4) B32B009/00(3) B32B038/10(3)
C01B032/182(3) C01B032/184(3) C23C014/18(3)
C23C016/01(3) C23C028/00(3) H01L021/02(3)
发明人 LIU X(2)
公开年 2017(9) 2016(3)
申请年 2016(13)
专利权人