国家/地区 韩国(30)
IPC部 C(30)
IPC大类 C01(30)
IPC小类 C01B(30)
IPC C23C016/26(22) C01B032/186(14) C23C016/02(10)
C01B032/194(9) C23C016/04(7) C23C016/44(7)
H01M004/36(6) H01M004/38(6) C23C016/455(5)
C23C016/56(5) H01L021/02(5) H01M004/62(5)
H01M010/052(5) C01B032/05(4) C01B032/182(4)
发明人 BYUN K(3) BYUN K E(3) LEE C(3)
LEE C S(3) LEE E(3) SHIN H(3)
SHIN H J(3) IFUKU R(2) KIM C(2)
KIM S(2) LIM J(2) MATSUMOTO T(2)
NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(30)
申请年 2020(17)  2021(9)  2019(4) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) DAEJOO ELECT.(2) LAM RES CORP(2) TOKYO ELECTR.(2)
UNIST ULSAN .(2) UNIV SINGAPO.(2)