国家/地区 美国(39)
IPC部 C(39)
IPC大类 C01(39)
IPC小类 C01B(39)
IPC C23C016/26(21) C01B032/194(16) C01B032/186(15)
C23C016/02(12) C23C016/04(11) B82Y030/00(9)
C23C016/44(9) B82Y040/00(7) C01B032/182(7)
C23C016/505(7) C23C016/56(7) C23C016/52(6)
H01L021/02(6) C23C016/452(5) C23C016/48(5)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) BYUN K(3)
BYUN K E(3) LEE C(3) LEE C S(3)
LEE E(3) SHIN H(3) SHIN H J(3)
GLASS H(2) GUINEY I(2) KIM C(2)
KIM S(2) NARKEVICIUTE I(2) THOMAS S(2)
公开年 2021(39)
申请年 2020(20)  2021(17)  2019(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) SAMSUNG ELEC.(3) LAM RES CORP(2) PARAGRAF LTD(2)
TOKYO ELECTR.(2) UNIV SINGAPO.(2)