国家/地区 中国(9) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B029/02(8) C23C016/26(7) C30B025/18(7)
H01L021/02(4) C01B032/186(3) C23C014/35(3)
C23C016/02(3) C30B025/00(3) C30B029/40(3)
C01B032/194(2) C23C014/06(2) C23C016/34(2)
C23C016/40(2) C23C016/455(2) C23C016/511(2)
发明人 WANG B(2)
公开年 2022(13)
申请年 2022(13)
专利权人