国家/地区 美国(62)
IPC部 C(62)
IPC大类 C23(62)
IPC小类 C30B(62)
IPC C23C016/26(36) C30B029/02(33) C01B031/04(30)
C30B025/18(26) B82Y040/00(23) C01B031/02(21)
C23C016/02(21) B82Y030/00(19) C01B032/186(19)
H01L021/02(15) C30B025/02(11) H01L029/16(10)
C01B032/194(9) C23C016/34(9) C23C016/56(9)
发明人 VEERASAMY V S(4) XIE X(4) DING G(3)
VEERASAMY V(3) WANG H(3) CASTRO A H(2)
CHIBA Y(2) CHIBA YOSHIHIRO(2) COJOCARU C(2)
FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
HONG B H(2) JIANG M(2) KIM J(2)
公开年 2013(9) 2021(9) 2012(7) 2014(7) 2016(6) 2011(5) 2015(5) 2017(4) 2018(3) 2022(3) 2009(2)
申请年 2012(9)  2013(8)  2016(7)  2020(7)  2011(6)  2014(6)  2015(4)  2021(4)  2009(3)  2017(3)  2008(2) 
专利权人 GUARDIAN IND.(4) SHANGHAI INS.(4) GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3)
CENT NAT REC.(2) CHINESE ACAD.(2) DING G(2) ECOLE POLYTE.(2)
HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) JX NIPPON MI.(2) NIPPON MININ.(2)
SAMSUNG TECH.(2) UNIV SINGAPO.(2) UNIV TSINGHU.(2) UNIV XIDIAN(2)
XIE X(2) ZHANG K(2) ZHANG Y(2)