国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC B82Y040/00(6) B82Y030/00(5) C01B031/02(5)
C01B031/04(4) C01B032/186(4) C23C016/26(4)
C30B025/18(4) C30B029/02(4) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) C01B032/194(2) C23C016/02(2)
C30B025/02(2) H01B001/04(2) H01L021/20(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2012(4) 2013(4)
申请年 2012(9)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)