国家/地区 | 中国(10) 美国(7) 韩国(3) 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(17)![]() |
IPC大类 |
C23(17)![]() |
IPC小类 |
C23C(17)
C01B(11)
H01L(5)
B82Y(3) H01J(3) C21D(2) |
IPC |
C23C016/52(17)![]() |
发明人 | NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2) |
公开年 |
2021(17)![]() |
申请年 | 2020(10) 2021(6) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(3) NINGBO INST .(2) |
KOEHNE J E, MEYYAPPAN M, GANDHIRAMAN R
LEE J, HYEON S H, HYEONG S
LI M, ZHANG C, LI H, LENG Y, LI C