国家/地区 中国(10) 美国(7) 韩国(3) 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C23(17)
IPC小类 C23C(17) C01B(11) H01L(5)
B82Y(3) H01J(3) C21D(2)
IPC C23C016/52(17)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(17)
申请年 2020(10)  2021(6) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(3) NINGBO INST .(2)