国家/地区 美国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/26(10) C01B032/186(7) H01L021/285(5)
C23C016/02(4) H01L021/02(4) H01L021/768(4)
H01L023/532(4) B82Y040/00(3) C23C016/511(3)
H01M010/0525(3) B82Y030/00(2) C01B032/184(2)
C23C016/01(2) C23C016/34(2) C23C016/455(2)
发明人 LEE C S(4) LEE C(3) SHIN K(3)
SHIN K W(3) BYUN K(2) BYUN K E(2)
ELSAYED K A M(2) MAAROUF A A(2) SHIN H(2)
SHIN H J(2)
公开年 2023(12)
申请年 2022(10) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) UNIV IMAM AB.(2)