国家/地区 德国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11) C01B(9) H01L(7)
B82Y(6) B32B(5) H01B(3)
H01J(2) H01M(2) H05K(2)
IPC C23C016/26(11)
发明人 THOMAS S(2)
公开年 2013(4) 2016(2) 2021(2)
申请年 2013(3)  2016(2) 
专利权人 INT BUSINESS.(3)