| 国家/地区 | 美国(7) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 中国(3) 日本(3) 韩国(3) 英国(2) 新加坡(2) |
| IPC部 |
C(8)
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| IPC大类 |
C01(8)
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| IPC小类 |
C01B(8)
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| IPC |
C23C016/26(8)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(8)
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| 申请年 | 2013(4) 2012(3) |
| 专利权人 |
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
RHO J, PARK W, JUNG M, SEO B, MOON J
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
