国家/地区 中国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C30(15)
IPC小类 C30B(15)
IPC C30B029/02(6) C30B025/18(5) C30B029/06(3)
C01B032/194(2) C23C014/24(2) C30B025/00(2)
C30B029/40(2) C30B033/10(2) H01L021/02(2)
发明人 ZHANG J(3) CHI K(2) GUO W(2)
LIU Y(2) WANG S(2) WANG X(2)
WANG Y(2)
公开年 2018(10) 2020(4)
申请年 2018(15)
专利权人 UNIV HUAZHON.(2)