国家/地区 中国(21) 美国(20) 世界知识产权组织(12) 日本(9) 欧洲专利局(EPO)(8) 韩国(8) 台湾(4) 法国(3) 英国(2) 新加坡(2)
IPC部 C(40)
IPC大类 C30(40)
IPC小类 C30B(40)
IPC C30B029/02(25) C01B031/04(16) C01B031/02(15)
B82Y040/00(14) B82Y030/00(12) C23C016/26(10)
C30B025/18(9) H01L021/02(9) C30B025/00(7)
H01L029/16(6) C30B025/02(5) H01L021/20(5)
H01L021/205(5) C23C016/02(4) C01B032/184(3)
发明人 CHAI Z(3) FAN S(3) HAN D(3)
HAO Y(3) NING J(3) WANG D(3)
WEI Y(3) YAN Y(3) ZHANG J(3)
BERRY V(2) CHEN J(2) FAN F Y(2)
GI Y(2) KELBER J(2) LI X(2)
公开年 2013(40)
申请年 2012(18)  2013(16)  2011(6) 
专利权人 CENT NAT REC.(3) HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV TSINGHU.(3)
UNIV XIDIAN(3) CNRS CENT NA.(2) HANGZHOU GEL.(2) KELBER J(2)
MEMC ELECTRO.(2) SUNEDISON SE.(2) UNIV KANSAS .(2) UNIV NANCHAN.(2)
UNIV NORTH T.(2)