国家/地区 美国(8) 中国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2) 台湾(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B029/02(9) C01B031/04(4) C23C016/26(4)
C01B032/182(3) C30B025/18(3) C30B029/64(3)
C01B032/186(2) C01B032/194(2) C23C016/02(2)
C30B025/00(2) C30B029/14(2) C30B029/60(2)
H01M004/02(2) H01M004/587(2)
发明人 MIWA T(2) MOMO J(2) NOMOTO K(2)
公开年 2016(13)
申请年 2015(13)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)