国家/地区 日本(6) 韩国(6) 美国(6) 台湾(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7) C01(6) C23(4)
H01(4)
IPC小类 B01J(7)
IPC B01J023/755(5) C01B031/02(4) C01B031/04(3)
C01B032/182(3) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
H01L021/768(3) H01L023/532(3) B01J037/02(2)
C01B032/15(2) C01B032/18(2) C01B032/186(2)
C23C016/511(2) C23C016/56(2) H01L021/205(2)
发明人 MATSUMOTO T(7) IFUKU R(3) KASHIWAGI Y(2)
MATSUMOTO TAKASHI(2)
公开年 2013(2) 2016(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 TOKYO ELECTRON LTD(7)