国家/地区 日本(38)
IPC部 C(38)
IPC大类 C01(38) H01(16) B82(15)
C09(6) B01(5) C23(5)
C08(3) B32(2) C22(2)
C25(2) C30(2) H05(2)
IPC小类 C01B(38)
IPC C01B031/02(36) B82Y030/00(14) B82Y040/00(12)
C01B031/04(11) H01B013/00(6) H01B001/00(4)
H01B001/24(4) H01B005/14(4) C09D011/00(3)
C09D011/52(3) C23C016/26(3) H01B001/04(3)
H01L021/205(3) H01L021/28(3) H01L021/336(3)
发明人 WADA T(3) HIBINO H(2) HIRABAYASHI H(2)
IIDA Y(2) INOUE M(2) INOUE T(2)
KOBIKI T(2) KON M(2) KOYAMA K(2)
MINAMI N(2) MURAYAMA H(2) OGINO T(2)
SAKAGUCHI K(2) SAKIO S(2) TAKEI H(2)
公开年 2013(38)
申请年 2011(38)
专利权人 DOKURITSU GY.(3) JX NIPPON MI.(3) PANASONIC CO.(3) SEKISUI CHEM.(3)
TOSHIBA KK(3) DENSO CORP(2) FUJITSU LTD(2) KRI INC(2)
NAMIKI SEIMI.(2) ULVAC INC(2) UNIV NIIGATA(2) UNIV YOKOHAM.(2)